형태의 템플릿 프린터
스텐실 프린팅은 두 가지 형태를 가질 수 있습니다. 하나는 스크린 스텐실이고 다른 하나는 중공 스텐실 프린팅입니다.
스크린 마스크는 스크린 마스크 패턴 상에 형성되고, 스크린 인쇄를 통해 기판에 페인트되며; 빈 템플릿이 중공 패턴의 스텐실에 형성되고 중공 그래픽 인쇄를 통해 기판에 페인트됩니다. 분명히, 메쉬 지원으로 인해 스크린 스텐실은 패턴 상단에 아무런 연결이 없을 수 있으며 중공 스텐실은 빈 그래픽 연결 문제를 고려해야합니다.
스크린 스텐실 인쇄는 마이크로 나노 가공에서 스크린 인쇄를위한 전통적인 T 산업 인쇄 기술입니다. 이것은 스텐실의 패턴을 더 작게 만들고 스크린의 메쉬를 더 얇게 만드는 것 이상입니다. 그러나, 스크린 그 자체의 메쉬 제한 때문에, 스크린 인쇄 패턴은 통상 수십 마이크로 미터 또는 수백 마이크로 미터 이상이다. 스크린상의 패턴은 포토 레지스트의 광학 노출 방법에 의해 형성 될 수있다. 포토 레지스트가 현상 된 후에, 스크린이 자연적으로 형성된다. 스크린 인쇄는 두꺼운 필름 압전 장치를 만드는 독특한 이점이 있습니다. 압전 재료는 주로 PZT (lead-pyrrolate titanate)이기 때문에 PZT 재료는 상기 물리적 또는 화학적 방법에 의해 증착 될 수 없으며 전통적인 에칭 방법에 의해 패턴으로 가공 될 수도 없다. 스크린 인쇄 방법을 사용하여 PZT를 슬러리로 만든 다음 스크린 마스크에 칠할 수 있습니다. 이와 같이하여,보다 두꺼운 PZT 막을 얻을 수있다. 그리고 원하는 PZT 패턴 구조를 형성 할 수 있습니다. 이 기술은 PZT 구동 마이크로 액츄에이터 또는 마이크로 유체 펌프 및 기타 마이크로 장치를 제조하는 데 광범위하게 사용되었습니다. 이러한 마이크로 장치 크기의 구조는 비교적 크기가 커서 화면 인쇄 해상도가 정확히 수행 될 수 있습니다.
빈 스텐실 인쇄는 전통적인 산업 인쇄 기술이기도합니다. 중공 스텐실 프린팅 및 스텐실 프린팅은 프린팅 된 재료와 직접적으로 중공 영역 증착을 통해 기판에 대해 상이하다. 이것은 스크린 인쇄 또는 중공 영역을 통해 기판의 표면에 열 증발시킴으로써 적용될 수있다. 예를 들어, 금속 재료가 증착되어 기판의 표면 상에 증착되어 금속 패턴을 형성한다.